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IEST-RP-CC004.3, biaxial shake, fabric (≥100μm) 无尘室用擦拭材料, 微颗粒物 |
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IEST-RP-CC004.3, ions 无尘室用擦拭材料, 表面离子含量 ( Na, K, Cl ) |
IEST-RP-CC004.3, absorbent capacity 无尘室用擦拭材料, 吸收能力 |
IEST-RP-CC004.3 / IEST-RP-CC003.3 Helmke drum particle counts 无尘室用擦拭材料, 汉姆克滚筒试验 |