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SEMI是半导体设备与材料的国际性组织(Semiconductor Equipment and Materials International )的简称,成立于1970年,总部位于美国加州,是半导体工业的全球执行联盟。

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半导体及相关行业受到快速技术创新和不断变化的市场趋势的推动。为了保持竞争力,制造商必须不断适应越来越多的材料、器件结构、制造工艺和集成电路设计。此外,半导体制造涉及广泛的环境、健康和安全危害。随着行业变得越来越复杂,确保安全、质量和可持续性的全球要求也越来越高。


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什么是SEMI?
半导体设备和材料国际(SEMI)是一个全球行业协会,成员来自半导体及相关行业的所有部门。SEMI国际标准部门内的环境健康和安全(EHS)委员会制定了全球公认的行业标准和指南,以确保最高水平的安全和质量。
半国际标准计划及其行业专家成员已经制定、审查并经常更新了半标准,他们专注于降低制造成本、发展新产业和保证开放市场的存在。SEMI S2是SEMI安全文件组的基础指南,定义了半导体产品所需的最低安全要求。遵守SEMI S2有助于提高产品的适销性、效率和企业的盈利能力。此外,半导体和平板制造和检验工具的大多数购买者将要求符合SEMI S2要求

除SEMI S2指南外,还有其他半安全指南,如SEMI S14火灾风险指南、SEMI S3加热浴缸指南和SEMI S8半导体人体工程学工程指南等。

在许多情况下,客户可能会根据合同要求遵守SEMI S2指南。此外,一些地方当局还使用SEMI S2指南的部分内容,以确保设备符合电气和消防安全要求。


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我们能为您做些什么?
我们的专家团队拥有丰富的知识和经验,可根据SEMI S2和其他SEMI指南以及其他国际公认标准为您提供行业认可的设备评估服务。我们为SEMI S2提供广泛的内部服务,帮助制造商和最终用户经济高效地解决高科技制造的危害。除了提供全面的评估和报告外,我们还可以为您提供认证标志,这是全球公认的质量和安全的同义词。

此外,我们还可以直接与我们的全球半导体专家合作,协助您满足设计要求、CE标记测试、现场EMC测试、电压暂降和中断的SEMI F47测试、美国设备的现场评估和标签以及国际批准。我们全面的SEMI S2和其他服务套件在整个产品生命周期中为您提供支持。


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设计与建造:我们提供制造设备和组件的设计评估和测试服务,以支持符合SEMI S2指南、CE标记、NRTL、CSA和现场EMC,以及许多其他特定的最终用户或当地要求。

安装:我们的现场测试服务符合监管要求,如美国和加拿大的现场标签。我们还提供EHS服务,以协助大型设施的按时启动或扩建,并帮助制定计划,确保良好的设备设计不会因不安全的设备安装而受损。

运行与维护:支持制定、实施和监控广泛的EHS相关计划。


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变更和修改:我们根据SEMI S2安全指南提供评估和测试服务,以确保设备的变更和修改不会对设备或其周围环境的危险或风险特性产生不利影响。

退役和处置:我们提供EHS服务,以制定计划、程序和测试,确保设备或设施的去污和退役能够以安全有效的方式进行。



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SEMI下属的安全工作小组为了降低机械危害的风险,制定了一套适用于半导体及显示器材料和制造设备的全球性标准和法规,成为半导体业界对设备系统的必备的规格要求。

SEMI标准中有材料(M系列) 、设备(F系列)、平板显示器(D系列)、跟踪性(T系列) 等,环境• 健康• 安全(EHS) 由S系列规定。


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  • SEMI系列常见标准

SEMI S1 - Safety Guideline for Visual Hazard Alerts 装置安全标签

SEMI S2 - Safety Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment 半导体生产装置的环境、健康、安全

SEMI S3 - Safety Guidelines for Heated Chemical Baths 热化学槽的安全性

SEMI S4 - Safety Guideline for the Segregation/ Separation of Gas Cylinders Contained in Cabinets 橱柜收纳高压气筒的隔离/分离

SEMI S5 - Safety Guideline for Flow Limiting Devices 流量限制设备

SEMI S6 - Safety Guideline for Ventilation 换气

SEMI S7 - Safety Guidelines for Environmental,Safety and Health Evaluation of Semiconductor Manufacturing Equipment 半导体生产装置的环境、健康、及安全性(ESH)评价

SEMI S8 - Safety Guidelines for Ergonomics/Human Factors Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment 半导体生产装置的人机工程学

SEMI S9 - Electrical Test Methods for Semiconductor Manufacturing Equipment 半导体生产装置的电气设计验证试验

SEMI S10 - Safety Guideline for Risk Assessment 风险核查

SEMI S11 - Environmental, Safety, and Health Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment Minienvironments 半导体生产装置的小环境的环境、安全性及健康

SEMI S12 - Guidelines for Equipment Decontamination 装置的去污

SEMI S13 - Safety Guidelines for Operation and Maintenance Manuals Used with Semiconductor Manufacturing Equipment 半导体生产装置的操作及维护手册

SEMI S14 - Safety Guidelines for Fire Risk Assessment and Mitigation for Semiconductor Manufacturing Equipment 对半导体生产装置的火灾风险评估和降低

SEMI S15 - Safety Guidelines for the Evaluation of Toxic and Flammable Gas Detection Systems 有毒及易燃气体的检测系统评价

SEMI F47 - Voltage Sag Standard 电压瞬变能力规范